Robust Control of Rapid Thermal Processes Applied to Vapor Deposition Processing

Авторы: Aranovskiy S, Kapitonov A., Bobtsov A., Pyrkin A., Zavarin E., Davydov D., Ortega R.

Год издания: 2014

Издание: 6th International Congress on Ultra-Modern Telecommunications and Control Systems

Страницы: 672-677

Страна: Россия

Город: Санкт-Петербург