Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии

Тип: Кандидатская диссертация

Научный руководитель: к.т.н. Арановский С.В.

Соискатель: Капитонов А.А.

Год защиты: 2014

Место защиты: Университет ИТМО