Идентификация параметров нелинейной математической модели быстрых термических процессов

Авторы: Капитонов А.А., Арановский С.В

Год издания: 2014

Издательство: НТВ ИТМО

Страницы: 176-178

Рассматривается задача идентификации параметров нелинейной математической модели, описывающей быстрые термические процессы. Для оценивания параметров модели предложен гибридный метод, сочетающий аналитическое решение и использование методов численной оптимизации. На первом этапе по экспериментальным данным оценивается значение скорости изменения температуры, что позволяет записать исходную нелинейную модель как модель линейной регрессии и найти оценку параметров методом наименьших квадратов. Полученная оценка используется как начальное значение при численном решении задачи минимизации ошибки предсказания, что позволяет сформировать оптимальный предиктор. Предложенный алгоритм апробирован на экспериментальной установке для газофазной эпитаксии, полученные оценки параметров нелинейной модели позволяют с высокой точностью прогнозировать изменения температуры.